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D 探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统SolidWorks 三维模型
三维机械图纸名称为：D 探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统，属于机械设备，非标机械分类，软件为SolidWorks, 三维模型格式为sldprt,sldasm，可在线预览，可编辑，可供设计参考
模型参数
模型ID：10215123
模型大小：35.95M
软件版本： SolidWorks
模型格式：sldprt,sldasm
是否可编辑：可修改，包括参数
上传时间：2024-08-02
图纸介绍：
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文件列表
1. 00前面.png
61.8 KB
2. 0上面.png
48.8 KB
3. 0下面.png
37 KB
4. 0后面.png
55.8 KB
5. 18.18.28 500mm.SLDPRT
162 KB
6. 18.25.28 500mm.SLDPRT
109 KB
7. AS1201-M5-F06.SLDPRT
88.8 KB
8. AWA5-25.SLDPRT
125 KB
9. BOX-NETW2.5.SLDPRT
60.4 KB
10. BOX-STWN10.SLDPRT
67.6 KB
11. BUR12.SLDPRT
221 KB
12. CFFAN3-6.SLDPRT
98.1 KB
13. EGH15CA导轨.SLDPRT
195 KB
14. EGH15CA滑块.SLDPRT
232 KB
15. EGH20SA导轨.SLDPRT
274 KB
16. EGH20SA滑块.SLDPRT
285 KB
17. FL684ZZ.SLDPRT
147 KB
18. FL686ZZ.SLDPRT
147 KB
19. GG1002丝杠.SLDPRT
117 KB
20. GG1002螺母.SLDPRT
120 KB
21. GG1505丝杠X轴.SLDPRT
102 KB
22. GG1505丝杠Y轴.SLDPRT
102 KB
23. GG1505螺母.SLDPRT
139 KB
24. KQ2H04-01S.SLDPRT
51.5 KB
25. KQ2L04-M5.SLDPRT
100 KB
26. LMU4.SLDPRT
91.6 KB
27. MSMD022G1U 200W Panasonic.SLDPRT
209 KB
28. MSMD042G1U 400W Panasonic.SLDPRT
228 KB
29. PACK-WVWS-V3-D8.SLDPRT
114 KB
30. PM-L44.SLDPRT
151 KB
31. R8-1.0T3-FSI-70-105-0.008.SLDPRT
95.8 KB
32. RA11008 UU CC0.SLDPRT
197 KB
33. SCPS21-6-8.SLDPRT
312 KB
34. SCPW34-10-11.SLDPRT
262 KB
35. SCPW34-10-14.SLDPRT
327 KB
36. SV3050-7Z-P.SLDPRT
112 KB
37. UR6-40.SLDPRT
912 KB
38. UY5-20.SLDPRT
493 KB
39. VKF332V-5G-M5.SLDPRT
160 KB
40. VV3KF3-20-02.SLDPRT
70.3 KB
41. XY table 固定件.SLDPRT
106 KB
42. XY板.SLDPRT
870 KB
43. X向防尘罩.SLDPRT
117 KB
44. X板.SLDPRT
365 KB
45. X轴拖链安装支架1.SLDPRT
114 KB
46. X轴拖链支架2.SLDPRT
104 KB
47. X轴旗杆.SLDPRT
88.3 KB
48. X防尘罩侧安装板1.SLDPRT
149 KB
49. X防尘罩侧安装板2.SLDPRT
174 KB
50. X防尘罩安装板1.SLDPRT
123 KB
51. X防尘罩安装板2.SLDPRT
107 KB
52. X限位块1.SLDPRT
72.5 KB
53. X限位块2.SLDPRT
71.9 KB
54. Y向防尘罩1.SLDPRT
115 KB
55. Y向防尘罩2.SLDPRT
110 KB
56. Y缓冲块1.SLDPRT
67.2 KB
57. Y缓冲块2.SLDPRT
71.2 KB
58. Y轴底座.SLDPRT
439 KB
59. Y轴拖链安装支架.SLDPRT
87.8 KB
60. Y轴旗杆.SLDPRT
89 KB
61. Y轴轴承压盖.SLDPRT
122 KB
62. Y轴轴承调整环.SLDPRT
109 KB
63. Y防尘罩安装板1.SLDPRT
111 KB
64. Y防尘罩安装板2.SLDPRT
93 KB
65. ZFC100-04B.SLDPRT
114 KB
66. ZSE30-C4L-25-A-Q.SLDPRT
143 KB
67. Z轴感应片.SLDPRT
71.8 KB
68. Z轴承座.SLDPRT
207 KB
69. Z轴组件.SLDASM
3.09 MB
70. Z轴轴承压盖.SLDPRT
134 KB
71. Z轴轴承调整环.SLDPRT
113 KB
72. Z轴连接座.SLDPRT
210 KB
73. Z轴锁紧螺母.SLDPRT
140 KB
74. 上基板支撑块.SLDPRT
253 KB
75. 上旋转轴.SLDPRT
122 KB
76. 东方马达CMK244MAP.SLDPRT
102 KB
77. 东方马达CRK564MAPB.SLDPRT
138 KB
78. 丝杆固定法兰.SLDPRT
103 KB
79. 丝杆螺母固定板.SLDPRT
126 KB
80. 丝杆限位档板.SLDPRT
70.8 KB
81. 丝杠直线角度转换机构-000T.SLDASM
1.07 MB
82. 传感器PM-L24.SLDPRT
78.8 KB
83. 内圈压盖.SLDPRT
136 KB
84. 前旋转下座.SLDPRT
122 KB
85. 前旋转座.SLDPRT
90.9 KB
86. 升降导轨安装板右.SLDPRT
160 KB
87. 升降导轨安装板左.SLDPRT
149 KB
88. 升降底座.SLDPRT
236 KB
89. 后旋转下座.SLDPRT
124 KB
90. 后旋转座.SLDPRT
129 KB
91. 后旋转座垫片.SLDPRT
59.9 KB
92. 外圈压盖.SLDPRT
144 KB
93. 大理石底板.SLDPRT
85.2 KB
94. 导向轴固定板.SLDPRT
123 KB
95. 感应器保护罩.SLDPRT
76 KB
96. 承片台.SLDPRT
457 KB
97. 承片台安装板.SLDPRT
118 KB
98. 承片台旋转顶升系统-000T.SLDASM
3.68 MB
99. 摆杆.SLDPRT
153 KB
100. 摆杆垫片.SLDPRT
57 KB
101. 支点1固定轴.SLDPRT
89.8 KB
102. 支点2固定轴.SLDPRT
75 KB
103. 支点3固定轴.SLDPRT
78 KB
104. 支点3垫片.SLDPRT
55.6 KB
105. 旋转丝杆螺母.SLDPRT
104 KB
106. 旋转座.SLDPRT
466 KB
107. 旋转旗杆.SLDPRT
89.7 KB
108. 旋转旗杆2.SLDPRT
89.9 KB
109. 旋转组件.SLDASM
1.27 MB
110. 旋转轴.SLDPRT
92.3 KB
111. 旋转轴锁紧螺帽.SLDPRT
105 KB
112. 旋转轴防尘罩.SLDPRT
147 KB
113. 旋转顶升系统-000T.SLDASM
2.92 MB
114. 旋转马达座.SLDPRT
216 KB
115. 晶圆承片台XY系统-000T.SLDASM
2.14 MB
116. 晶圆承片台及其旋转顶升系统-000T.SLDASM
4.94 MB
117. 直线轴承垫片.SLDPRT
164 KB
118. 联轴器MCGLC13_5_5.sldprt
275 KB
119. 花键对接法兰.SLDPRT
324 KB
120. 螺母座.SLDPRT
160 KB
121. 锁紧螺母.SLDPRT
135 KB
122. 阀组件.SLDASM
205 KB
123. 顶针.SLDPRT
32.3 KB
124. 顶针安装座.SLDPRT
302 KB
125. 顶针导向轴.SLDPRT
64.7 KB
126. 顶针旋转座.SLDPRT
342 KB
127. 风扇.SLDPRT
196 KB
128. 风扇支架.SLDPRT
230 KB
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