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| # | 文件名称 | 文件大小 |
|---|---|---|
| 1 | 00前面.png | 61.8 KB |
| 2 | 0上面.png | 48.8 KB |
| 3 | 0下面.png | 37 KB |
| 4 | 0后面.png | 55.8 KB |
| 5 | 18.18.28 500mm.SLDPRT | 162 KB |
| 6 | 18.25.28 500mm.SLDPRT | 109 KB |
| 7 | AS1201-M5-F06.SLDPRT | 88.8 KB |
| 8 | AWA5-25.SLDPRT | 125 KB |
| 9 | BOX-NETW2.5.SLDPRT | 60.4 KB |
| 10 | BOX-STWN10.SLDPRT | 67.6 KB |
| 11 | BUR12.SLDPRT | 221 KB |
| 12 | CFFAN3-6.SLDPRT | 98.1 KB |
| 13 | EGH15CA导轨.SLDPRT | 195 KB |
| 14 | EGH15CA滑块.SLDPRT | 232 KB |
| 15 | EGH20SA导轨.SLDPRT | 274 KB |
| 16 | EGH20SA滑块.SLDPRT | 285 KB |
| 17 | FL684ZZ.SLDPRT | 147 KB |
| 18 | FL686ZZ.SLDPRT | 147 KB |
| 19 | GG1002丝杠.SLDPRT | 117 KB |
| 20 | GG1002螺母.SLDPRT | 120 KB |
| 21 | GG1505丝杠X轴.SLDPRT | 102 KB |
| 22 | GG1505丝杠Y轴.SLDPRT | 102 KB |
| 23 | GG1505螺母.SLDPRT | 139 KB |
| 24 | KQ2H04-01S.SLDPRT | 51.5 KB |
| 25 | KQ2L04-M5.SLDPRT | 100 KB |
| 26 | LMU4.SLDPRT | 91.6 KB |
| 27 | MSMD022G1U 200W Panasonic.SLDPRT | 209 KB |
| 28 | MSMD042G1U 400W Panasonic.SLDPRT | 228 KB |
| 29 | PACK-WVWS-V3-D8.SLDPRT | 114 KB |
| 30 | PM-L44.SLDPRT | 151 KB |
| 31 | R8-1.0T3-FSI-70-105-0.008.SLDPRT | 95.8 KB |
| 32 | RA11008 UU CC0.SLDPRT | 197 KB |
| 33 | SCPS21-6-8.SLDPRT | 312 KB |
| 34 | SCPW34-10-11.SLDPRT | 262 KB |
| 35 | SCPW34-10-14.SLDPRT | 327 KB |
| 36 | SV3050-7Z-P.SLDPRT | 112 KB |
| 37 | UR6-40.SLDPRT | 912 KB |
| 38 | UY5-20.SLDPRT | 493 KB |
| 39 | VKF332V-5G-M5.SLDPRT | 160 KB |
| 40 | VV3KF3-20-02.SLDPRT | 70.3 KB |
| 41 | XY table 固定件.SLDPRT | 106 KB |
| 42 | XY板.SLDPRT | 870 KB |
| 43 | X向防尘罩.SLDPRT | 117 KB |
| 44 | X板.SLDPRT | 365 KB |
| 45 | X轴拖链安装支架1.SLDPRT | 114 KB |
| 46 | X轴拖链支架2.SLDPRT | 104 KB |
| 47 | X轴旗杆.SLDPRT | 88.3 KB |
| 48 | X防尘罩侧安装板1.SLDPRT | 149 KB |
| 49 | X防尘罩侧安装板2.SLDPRT | 174 KB |
| 50 | X防尘罩安装板1.SLDPRT | 123 KB |
| 51 | X防尘罩安装板2.SLDPRT | 107 KB |
| 52 | X限位块1.SLDPRT | 72.5 KB |
| 53 | X限位块2.SLDPRT | 71.9 KB |
| 54 | Y向防尘罩1.SLDPRT | 115 KB |
| 55 | Y向防尘罩2.SLDPRT | 110 KB |
| 56 | Y缓冲块1.SLDPRT | 67.2 KB |
| 57 | Y缓冲块2.SLDPRT | 71.2 KB |
| 58 | Y轴底座.SLDPRT | 439 KB |
| 59 | Y轴拖链安装支架.SLDPRT | 87.8 KB |
| 60 | Y轴旗杆.SLDPRT | 89 KB |
| 61 | Y轴轴承压盖.SLDPRT | 122 KB |
| 62 | Y轴轴承调整环.SLDPRT | 109 KB |
| 63 | Y防尘罩安装板1.SLDPRT | 111 KB |
| 64 | Y防尘罩安装板2.SLDPRT | 93 KB |
| 65 | ZFC100-04B.SLDPRT | 114 KB |
| 66 | ZSE30-C4L-25-A-Q.SLDPRT | 143 KB |
| 67 | Z轴感应片.SLDPRT | 71.8 KB |
| 68 | Z轴承座.SLDPRT | 207 KB |
| 69 | Z轴组件.SLDASM | 3.09 MB |
| 70 | Z轴轴承压盖.SLDPRT | 134 KB |
| 71 | Z轴轴承调整环.SLDPRT | 113 KB |
| 72 | Z轴连接座.SLDPRT | 210 KB |
| 73 | Z轴锁紧螺母.SLDPRT | 140 KB |
| 74 | 上基板支撑块.SLDPRT | 253 KB |
| 75 | 上旋转轴.SLDPRT | 122 KB |
| 76 | 东方马达CMK244MAP.SLDPRT | 102 KB |
| 77 | 东方马达CRK564MAPB.SLDPRT | 138 KB |
| 78 | 丝杆固定法兰.SLDPRT | 103 KB |
| 79 | 丝杆螺母固定板.SLDPRT | 126 KB |
| 80 | 丝杆限位档板.SLDPRT | 70.8 KB |
| 81 | 丝杠直线角度转换机构-000T.SLDASM | 1.07 MB |
| 82 | 传感器PM-L24.SLDPRT | 78.8 KB |
| 83 | 内圈压盖.SLDPRT | 136 KB |
| 84 | 前旋转下座.SLDPRT | 122 KB |
| 85 | 前旋转座.SLDPRT | 90.9 KB |
| 86 | 升降导轨安装板右.SLDPRT | 160 KB |
| 87 | 升降导轨安装板左.SLDPRT | 149 KB |
| 88 | 升降底座.SLDPRT | 236 KB |
| 89 | 后旋转下座.SLDPRT | 124 KB |
| 90 | 后旋转座.SLDPRT | 129 KB |
| 91 | 后旋转座垫片.SLDPRT | 59.9 KB |
| 92 | 外圈压盖.SLDPRT | 144 KB |
| 93 | 大理石底板.SLDPRT | 85.2 KB |
| 94 | 导向轴固定板.SLDPRT | 123 KB |
| 95 | 感应器保护罩.SLDPRT | 76 KB |
| 96 | 承片台.SLDPRT | 457 KB |
| 97 | 承片台安装板.SLDPRT | 118 KB |
| 98 | 承片台旋转顶升系统-000T.SLDASM | 3.68 MB |
| 99 | 摆杆.SLDPRT | 153 KB |
| 100 | 摆杆垫片.SLDPRT | 57 KB |
| 101 | 支点1固定轴.SLDPRT | 89.8 KB |
| 102 | 支点2固定轴.SLDPRT | 75 KB |
| 103 | 支点3固定轴.SLDPRT | 78 KB |
| 104 | 支点3垫片.SLDPRT | 55.6 KB |
| 105 | 旋转丝杆螺母.SLDPRT | 104 KB |
| 106 | 旋转座.SLDPRT | 466 KB |
| 107 | 旋转旗杆.SLDPRT | 89.7 KB |
| 108 | 旋转旗杆2.SLDPRT | 89.9 KB |
| 109 | 旋转组件.SLDASM | 1.27 MB |
| 110 | 旋转轴.SLDPRT | 92.3 KB |
| 111 | 旋转轴锁紧螺帽.SLDPRT | 105 KB |
| 112 | 旋转轴防尘罩.SLDPRT | 147 KB |
| 113 | 旋转顶升系统-000T.SLDASM | 2.92 MB |
| 114 | 旋转马达座.SLDPRT | 216 KB |
| 115 | 晶圆承片台XY系统-000T.SLDASM | 2.14 MB |
| 116 | 晶圆承片台及其旋转顶升系统-000T.SLDASM | 4.94 MB |
| 117 | 直线轴承垫片.SLDPRT | 164 KB |
| 118 | 联轴器MCGLC13_5_5.sldprt | 275 KB |
| 119 | 花键对接法兰.SLDPRT | 324 KB |
| 120 | 螺母座.SLDPRT | 160 KB |
| 121 | 锁紧螺母.SLDPRT | 135 KB |
| 122 | 阀组件.SLDASM | 205 KB |
| 123 | 顶针.SLDPRT | 32.3 KB |
| 124 | 顶针安装座.SLDPRT | 302 KB |
| 125 | 顶针导向轴.SLDPRT | 64.7 KB |
| 126 | 顶针旋转座.SLDPRT | 342 KB |
| 127 | 风扇.SLDPRT | 196 KB |
| 128 | 风扇支架.SLDPRT | 230 KB |
D 探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统
图纸ID：10215123
文件大小：35.95M
软件版本：
图纸格式：sldprt,sldasm
参数/编辑：可修改，包括参数
上传时间：2024-08-02
图纸介绍：
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